Das Schwergewicht
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alpha1000C
Die alpha1000C ist unsere derzeit größte Sputter-Anlage – mit großem nutzbaren Volumen und relativ kurzen Produktionszyklen. Damit können Sie auf großen Teilen reibungsminimierende Schichten aufbringen. Oder Sie beschichten damit große Mengen kleiner Werkzeuge oder Komponenten, z. B. für die Automobil-, Flugzeug-, Anlagenbau- oder Werkzeugindustrie. Sie ist auch ideal für Originalteilehersteller (OEM) mit hohem Durchsatz gleichartiger Teile.
- Hohe Plasmadichte
- Niedrige Abscheidungstemperatur (<250 °C)
- Sehr glatte Schichten
- Große Flexibilität und Produktivität
- Einfache Beladung und intuitive Bedienung
- Wartungsfreundlich
- Niedrige Betriebskosten
- Kryo-Pumpe für schnelleres Abpumpen
- Optional: Abscheidung von Nitrit-Hartstoffschichten bei Substrattemperaturen <250 °C / 482 °F
- Nutzbares Volumen: Ø 600 mm × 1.000 mm
- Beladung: max. 850 kg
- Beschichtungskammer (L×B×H): 865 × 865 × 1.570 mm
- Gewicht Schaltschrank: 1.250 kg
- Gewicht Beschichtungseinheit: 3.900 kg + 470 kg (inkl. Polycold)
- Gewicht Pumpe: 250 kg
- Flächenlast: 1.900 kg/m2
- Stromversorgung: 10 kW/max. 700 V DC/gepulste DC
- Sputter-Quellen: 6 Stück, 1.243 x 145 mm, je 10 kW
- Chargen pro Tag: 2 – 3 Chargen üblich
- Beispielbeladung Schaftfräser (Ø 10 × 70 mm): 1.440 Stück pro Charge
- SUCASLIDE®
- CARBON-X®
- CHROME-X®
- MoX2®
- Alle tribologischen Schichten
