alpha700P

Erreichen Sie höchste Beschichtungsqualität kombiniert mit einem Maximum an Produktivität und Effizienz. Die alpha700P ist von außen kompakt, innen jedoch in jeder Hinsicht extra groß. In der Anlage erzeugen Sie Schichten mit modernster eifeler Technologie – und das in beeindruckender Geschwindigkeit.

Vorteile

Vakuumkammer mit 950 l Volumen
Target Shutter System zur Vermeidung von Kontamination
Doppelverdampfer-Prinzip für maximale Flexibilität
Optional SPCS: Extrem glatte und dichte Ultrafine-Schichten
Optionale Duplex-PVD-Beschichtung: In-situ-Nitrierung und Beschichtungsprozess in einem Durchlauf
Optionales Fast Cooling System zur Reduzierung der Abkühlzeiten um mindestens 25 %

Technische Daten

Nutzbares Volumen: Ø 600 mm × 700 mm
Beladung: max. 850 kg
Beschichtungskammer (L×B×H): 975 × 850 × 1.150 mm
Leergewicht: 5.400 kg
Leergewicht geteiltes Gehäuse: 3.800 kg (vorderer Teil), 1.600 kg (hinterer Teil)
Flächenlast: 1.250 kg/m²
Stromversorgung: 30 kW/max. 1.000 V DC/gepulste DC
Verdampfer: 16 Stück mit je max. 125 A
Chargen pro Tag: 3 – 4 Chargen üblich
Beispielbeladung Schaftfräser (Ø 10 × 70 mm): 900 Stück pro Charge
Beispielbeladung Wälzfräser (Ø 100 × 150 mm): 30 Stück pro Charge