Der Türöffner zur Tribologie
alpha400C
Mit der alpha400C können Sie auf großen Teilen reibungsminimierende Schichten erzeugen, vor allem solche auf Kohlenstoff- oder MoS2-Basis. Auch die Abscheidung von Nitrid-Hartstoffschichten bei Substrattemperaturen unter 250 °C/482 °F ist damit möglich. Unsere kleinste Magnetron-Sputteranlage bietet Ihnen hohe Flexibilität und kurze Produktionszyklen. Das macht sie für F&E-Labors in Hochschule und Industrie sehr interessant. Sie eignet sich auch perfekt für Produktionslinien bei Originalteileherstellern (OEM) mit hohem Durchsatz gleichartiger Teile – als fester Bestandteil ihres Produktionssystems.
- Große Flexibilität und Produktivität
- Kryo-Pumpe für schnelleres Abpumpen
- Target Shutter System für hohe Zuverlässigkeit
- Zugriff auf original eifeler tribologische Schichten (MoX2®, DLC)
- Einfache Beladung und intuitive Bedienung
- Wartungsfreundlich
- Niedrige Betriebskosten
- Hohe Plasmadichte
- Nutzbares Volumen: Ø 450 mm × 525 mm
- Beladung: max. 300 kg
- Beschichtungskammer (L×B×H): 775 × 630 × 750 mm
- Leergewicht: 3.000 kg, inkl. separatem Polycold
- Flächenlast: 850 kg/m2
- Stromversorgung: 10 kW/max. 1.000 V DC/gepulste DC
- Sputter-Quellen: 4 Stück 643 x 145 mm, je 6 kW
- Chargen pro Tag: 3 – 4 Chargen üblich
- Beispielbeladung Schaftfräser (Ø 10 × 70 mm): 432 Stück pro Charge
- Beispielbeladung Wälzfräser (Ø 100 × 150 mm): 24 Stück pro Charge
- Drehtisch: verschiedene Anzahl von Satelliten erhältlich
- SUCASLIDE®
- CARBON-X®
- CHROME-X®
- MoX2®
- Nitrit-Hartstoffschichten
